電源/基盤/ロボット/モーター 修理

Pre Aligner 300mm/アライナー
Berkley Process Control P/N:100-000-871-02
修理、Exchange

電源/Power supply
AE/advanced-energy電源 全般
AMAT PVD/MDXシリーズ, Pinnacle 20kW, Pinnacle plus, HFV,他
AMAT CVD/ RF5S, RF10S, RF20, APEX3K2P, RFG2K2V, AZX63,他
AMAT ETCH/ APEX 1.5/3K, Navigator 1013,Navigator 3013, 他
LAM-Novellus CVD/ APEX5513, RFD5500, PDX1400, PDX5000/8000,他
LAM-Novellus ETCH/ RFG1250, RFDS1250 APEX1513,他
Axcelis-SEN Implanter/ RFG3000, RFG3001, RFG3002, RF 3kW他
ロボット修理
SEN マコロボ/DCモータータイプ
PRI -Brooks製ATMシリーズ
Kawasaki製3NS~シリーズ
Yaskawa製XUシリーズ
Genmark, SEMITOOL, TEL, Canon, NIKON,等々


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