PVD用部品 販売/修理

消耗品販売
ピンアンテナ/プリクリーンチャンバー用
P/N:0021-54083

ベルジャー
P/N:0040-21178

チラー用フィルター P/N:4020-01140 
D-8901
Polypropylene Water Volume Purification Cartridge

E-chuck/Heater修理及び販売
8" MCA E Chuck, Hi-Temp, JMF P/N:0010-03361
8" MCA E Chuck, Hi-Temp, SNNF P/N:0010-01286
8" MCA E Chuck, Hi-Temp, SNNF P/N:0010-13895
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中古マグネット販売
12" Magnet Assy P/N:0010-23840
Magnet, SIP-Encore CU, LP-8.8, 8" P/N:0010-12864
Magnet Assy 'A'13.0 AL Assy P/N:0010-20225
Ti A-Type Magnet P/N:0010-20258
8" AL Magnet Assy Durasource P/N:0010-20328
Magnet Assy Durasource 11.3 P/N:0010-20389
Magnet Assy A-type 13" P/N:0010-20818
Magnet Assy 13" P/N:0010-20819
Magnet Assy, Durasource 13" JMW1 P/N:0010-21206
Magnet Assy TI Durasource 11.3 P/N:0010-21465
Magnet Assy P/N:0010-21767
Magnet Assy P/N:0010-26451
G-12, 8" Magnet Assy P/N:0010-20768
Endura Source TTN Minus G Type P/N:0010-21403
Magnet Assy, G12+, Encapsulated, Durasource P/N:0010-21810
Magnet Assy, G12+, Encapsulated, Durasource P/N:0010-33888
Magnet Assy Durasource TTN Encapsulated G Type P/N:0010-21844
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