イオンゲージチューブ / Ion Gauge Tube

□ 仕  様 □
測定範囲 1×10-3 ~ 2×10-10 Torr
X線リミット 2×10-10 Torr
コレクター O volts DC To Ground
グリッド +180 Volts DC To Ground
フィラメント +30 Volts DC To Ground
 

□ 適合品リスト □

セミバック P/N
VARIAN
Fil-tech
G-P
タイプ
口径 Filament材質
適応装置
GFBA-5020572-K7360-301G100PT274-015 1” W  Glass イオン注入(Varian, AMAT)
GFBA-5030571-K2471-301   1” Ir  Glass  
GFBA-5040572-K7360-302 274-016 1” W Kover MRC
GFBA-504F     274-018 2-3/4 Flange付 MRC (4053050/Eclipse)
GFBA-505S 0563-K2466-302 G100KC   1” Ir Kover+Shield  
GFBA-506 0572-K7360-303 G75PT 274-012 3/4”W Glass Eaton-Nova (3300002)
GFBA-551 0564-K2500-302     1” Ir Kover+Shield Varian スパッター
GFBA-709   G71PT      



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