イオン注入装置用消耗部品

取り扱い装置
AMAT 9500,9500xR, Quantum,xR120,xR80,
Varian VIIStaシリーズ, E1000, VIISion,80/120/160/180XP,E220等
Axcelis NVシリーズ, GSDシリーズ等
Nissin NHシリーズ Exceedシリーズ等
Ulvac IDZシリーズ,IM-200,IW-630等
取り扱い製品
アークチャンバ(C、W、Mo)
フィラメント (W、合金)
フロントスリット(C、W、Mo)
フィラメントホルダー (C、Mo)
カソード (W、Mo)
インシュレーター(C、セラミック)

その他 Ta材、W材、Mo材 加工承ります。


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